适用于半导体、光伏、显示面板等各个行业应用。
长飞石英公司应用多种合成及熔融工艺，采用sicl４,有机硅烷和高品质天然石英砂，基于自主工艺制造的各类合成和电熔石英锭，可满足半导体、光伏、工业等泛半导体行业,对石英材料理化特性与光学性能的严苛要求，为客户提供材料性能优异、稳定、可定制化的大尺寸石英材料及产品。
| 杂质含量ppb | li | na | k | mg | ca | cu | ai | cr | fe | ti |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
ys-1220 |
≤1 | ≤3 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤1 | ≤3 | ≤1 | ≤1 | ≤5 |
|
ys-2220 |
≤1 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤5 | ≤1 | ≤5 | ≤1 | ≤1 | ≤8 |
注：采用icp-ms法测定，表中数据为典型值
| 产品 | 型号 | 典型尺寸 (mm) | 产品特点：合成石英材料 | |
|---|---|---|---|---|
| 石英部件用 | 光学部件用 | |||
| 低oh合成石英锭 | ys-1220 | ys-1320 | φ350xh50/φ450xh45 |
|
| 合成石英锭 | ys-2230 | ys-2330 | 330x330x40/500x500xh50/ 1200x850x50 |
|
| 杂质含量 ppm |
al | b | ca | co | cr | cu | fe | k | li | mg | mn | na | ni | ti | oh |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
ye-3234 |
12 | <0.10 | 0.1 | <0.01 | <0.01 | 0.01 | 0.06 | 0.2 | 0.4 | <0.01 | 0.01 | 0.4 | <0.01 | 1.2 | <10 |
|
ye-3235 |
8 | <0.05 | 0.7 | - | <0.01 | 0.002 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.07 | 0.008 | <0.1 | 0.002 | 1.4 | <10 |
|
yp-3234 |
12 | <0.10 | 0.38 | <0.01 | <0.01 | 0.03 | 0.11 | 0.53 | 0.16 | <0.01 | <0.01 | 0.28 | <0.01 | 0.56 | <5 |
|
yp-3235 |
8 | <0.05 | 0.7 | - | <0.01 | 0.002 | 0.2 | 0.1 | 0.2 | 0.07 | 0.008 | <0.1 | 0.002 | 1.4 | <5 |
| 产品 | 型号 | 典型尺寸 (mm) | 应用领域 | 产品特点 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 电熔石英锭 | ye-3234 / ye-3235 | φ2000x600 | 半导体、光伏、工业等 | 纯度高，oh含量及气泡率低，耐高温性能好 | |
| 石英筒 | yp-3234 / yp-3235 |
外径：φ600 壁厚范围：50~200 |
|||
可根据客户需求，定制加工各种规格石英部件
| 参数 | 单位 | 合成石英类 | 电熔石英类 |
|---|---|---|---|
| 密度 | g/cm3 |
2.20 |
2.20 |
| 莫氏硬度 | - |
7 |
6~7 |
| 杨氏模量 | gpa | 72.80 | 72 |
| 剪切模量 | gpa |
31.22 |
72 |
| 泊松比 | - |
0.17 |
0.17 |
| 抗压强度 | gpa |
0.113 |
0.110 |
| 抗拉强度 | mpa |
49 |
49 |
| 弯曲强度 | mpa | 76.80 | 76.80 |
| 参数 | 单位 | 电熔石英ye系列 | 合成石英ys-1220 | 合成石英ys-2220 |
|---|---|---|---|---|
| 应变点（η=1014.5dpa·s） | °c | 1100 | 1070 | 1000 |
| 退火点（η=1013dpa·s） | °c | 1210 | 1180 | 1160 |
| 软化点（η=107.6dpa·s） | °c | 1720 | 1620 | 1620 |
| 热膨胀系数 | ||||
| 20~100°c | ×10-6/°c | 0.49 | 0.49 | 0.49 |
| 20~300°c | ×10-6/°c | 0.55 | 0.55 | 0.55 |
| 20~600°c | ×10-6/°c | 0.54 | 0.54 | 0.54 |