适用于光学、半导体、光伏、显示面板、光通信、光源等行业应用。
长飞石英公司基于自主cvd合成工艺，使用sicl4，有机硅烷等原料，结合多种纯化及掺杂技术，制备高品质合成石英材料，为客户提供性能优异、稳定、可定制化的石英材料及产品。
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型号 |
产品类型 |
典型尺寸 (mm) |
产品特性 |
|---|---|---|---|
|
ys-1220 |
石英锭 |
φ150x100 |
长飞半导体用合成石英锭，基于多种合成石英制备工艺，具备优异且稳定的各项理化性能：
可充分满足半导体、显示面板、光伏生产中各工艺制程的应用需求 |
|
φ300x50 |
|||
|
400x400x50 |
|||
|
ys-2230/ys-1230 |
500x500x60 |
||
|
ys-1240 |
φ1000x30 |
||
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yw-1804/1806/1808/1812 |
石英晶圆 |
φ150~300 最小厚度：0.05 |
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ysm-6025/ysm-6025r |
掩膜基板 |
152.4x152.4x6.35 |
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yr-1220 / yr-1230 / yr-1240 |
石英棒 |
φ2~200 最大长度：3000 |
|
|
yt-2220 / yt-2230 |
石英管 |
外径范围：15 ~ 90 壁厚范围：1.0 ~ 30 最大长度：2000 |
典型的微量杂质含量①（ppm）
| 型号 | li |
na |
k | mg | ca | cu | al | cr | fe | ti | oh |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
ys-1320 / ys-1220 |
<0.001 | ≤0.003 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.003 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.005 | <1 |
|
ys-2330 / ys-2230 |
<0.001 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.005 | ≤0.001 | ≤0.005 | ≤0.001 | ≤0.001 | ≤0.008 | <250 |
|
典型型号 |
典型尺寸 (mm) |
oh含量 (ppm) |
相对折射率 |
金属杂质含量(ppb) |
产品特性 |
|---|---|---|---|---|---|
|
yt-2120 / yt-2420 |
外径范围：φ15 ~ 90 壁厚范围：1.0 ~ 30 最大长度：2000 |
≤ 1 |
— |
≤ 50 |
长飞合成石英管，基于合成石英制备工艺及“无接触法”管材拉制工艺，具备优异且稳定的各项理化性能与外形几何指标：
可满足光纤预制棒制备、光源、医疗、工业等各行业对石英玻璃的严苛应用要求 |
|
yt-2121 / yt-2421 |
≤ 1 |
-0.35% ~ 0 |
|||
|
yt-2110 / yt-2410 |
≤ 0.1 |
— |
|||
|
yt-2130 |
50 ~ 200 |
— |
|||
| yt-1121* | — |
≤ 1 |
-1.1% ~ 0 |
||
|
yr-1120 |
石英棒 |
≤ 1 |
— |
||
|
yr-1140 |
>1（可定制） |
— |
几何规格与精度（单位：mm）
| 主要参数 | 衬管 | 小规格套管 | 大规格套管 |
|---|---|---|---|
|
外径od |
15 ~ 40 | 40 ~ 60 | 60 ~ 90 |
|
壁厚wt |
1.0 ~ 10 | 2 ~ 15 | 10 ~ 30 |
| 外径公差 | ± 0.80 | ± 0.80 | ± 2.00 |
| 壁厚公差 | ± 0.30 | ± 0.30 | ± 0.30 |
| 不圆度 | ≤ 0.15 | ≤ 0.40 | ≤ 0.40 |
| 偏壁 | ≤ 0.15 | ≤ 0.45 | ≤ 0.45 |
| csa偏差 | ≤ 6.0% | ≤ 6.0% | ≤ 6.0% |
| 弓曲(mm/m) | ≤ 0.70 | ≤ 0.70 | ≤ 0.70 |
| 长度 | ≤ 2000 | ≤ 2000 | ≤ 2000 |
|
型号 |
产品类型 |
最大尺寸(mm) | oh含量(ppm) | 光学均匀性(ppm)① |
应力双折射 (nm/cm)① |
条纹等级③ |
荧光④ |
气泡② |
杂质含量(ppb) |
产品特性 |
||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
ys-1320 |
石英锭 |
φ450x45 |
<1 |
≤2 |
≤2 |
5 |
轻微蓝 |
0 |
≤ 100⑤ |
长飞光学用合成石英锭，基于一步法、两步法等多种合成石英制备工艺，具备优异且稳定的各项理化性能：
可充分满足精密光学、激光等多种光学应用需求 |
||
|
≤5 |
≤5 |
5 |
轻微蓝 |
|||||||||
|
ys-2330 |
500x500xh50 |
<250 |
≤2 |
≤2 |
5 |
无 |
||||||
|
≤4 |
≤5 |
5 |
无 |
|||||||||
①：对光均和应力双折射值，可根据需求提供不同等级产品
②：0级标准：每100cm3玻璃中气泡横截面的总和不超过 0.015mm²，最大颗粒直径满足1/1*0.08
③：条纹等级参照iso-10110
④：使用254nm泵灯激发
⑤：标准值≤100ppb，典型值≤20ppb
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型号 |
s① |
h2 |
h3 |
h5 |
h10 |
|---|---|---|---|---|---|
|
ys-1320 |
≤ 1 |
≤ 2 |
≤ 3 |
≤ 5 |
≤ 10 |
|
ys-2330 |
≤ 1 |
≤ 2 |
≤ 3 |
≤ 5 |
≤ 10 |
①s级可根据需求定制提供
②不同光均等级，对应于相应的尺寸，详细指标可与长飞公司联络确认
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型号 |
热吸收系数@1064nm(ppm/cm) |
|---|---|
|
ys-1320 |
<1 |
|
ys-2330 |
<3 |
注：热吸收系数测试采用偏转法（1064nm）
折射率①
| 谱线波长（nm） | 折射率 | 谱线波长（nm） | 折射率 | 谱线波长（nm） | 折射率 | ||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
184.9 |
/ |
404.6 |
1.469778 |
643.8 |
1.456870 |
||
|
193.7 |
/ |
435.8 |
1.466855 |
656.3 |
1.456532 |
||
|
194.2 |
/ |
479.9 |
1.463664 |
706.5 |
1.455309 |
||
|
248.3 |
/ |
486.1 |
1.463290 |
852.1 |
1.452632 |
||
|
296.7 |
1.488912 |
508.6 |
1.462026 |
1013.98 |
1.450423 |
||
|
312.6 |
1.484499 |
546.1 |
1.460243 |
1529.6 |
1.444629 |
||
|
334.148 |
1.479930 |
587.6 |
1.458639 |
1970.1 |
1.438842 |
||
|
361.051 |
1.475278 |
589.3 |
1.458569 |
2325.4 |
1.433239 |
||
|
365 |
1.474698 |
632.8 |
1.457178 |
- |
- |
||
①：测试条件：20.0℃，1atm大气压，湿度50.0%
sellmeier方程色散常数
|
b1 |
c1 |
b2 |
c2 |
b3 |
c3 |
b4 |
c4 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
0.017718 |
-8.44917 |
0.004587 |
0.050553 |
1.09939 |
0.00784 |
19.884469 |
1816.93 |
sellmeier equation：n2-1=b1λ2/(λ2-c1) b2λ2/(λ2-c2) b3λ2/(λ2-c3) b4λ2/(λ2-c4)，λ in μm
| 参数 | 单位 | 测试结果 |
|---|---|---|
| 密度 | g/cm3 | 2.20 |
|
莫氏硬度 |
- |
7 |
|
杨氏模量 |
gpa |
74.20 |
|
剪切模量 |
gpa |
31.22 |
|
泊松比 |
- |
0.17 |
|
抗压强度 |
gpa |
0.113 |
|
抗拉强度 |
mpa |
49 |
|
弯曲强度 |
mpa |
94.3 |
| 参数 | 单位 | 测试结果 |
|---|---|---|
| 介电常数(20°c,500mhz) | - | 3.90 |
| 电阻率(20°c) | ω·cm | 0.1*1018 |
| 介电损耗角度(tanδ,500mhz) |
- |
< 0.001 |
| 电阻 | ω | 8.0*1015 |
| 参数 | 单位 | ys-1320 | ys-2330 |
|---|---|---|---|
| 应变点(η=1014.5dpa·s) | °c | 1070 | 1000 |
| 退火点(η=1013dpa·s) | °c | 1180 | 1160 |
| 软化点(η=107.6dpa·s) | °c | 1620 | 1620 |